这种特殊的结构可以扩大表面积,临沂里缩短离子扩散长度,并缓冲充放电过程中的体积膨胀应力。
本研究成果有望应用于下一代以数据为中心的高算力、小院相亲多功能、低延迟、低功耗的芯片架构。直播Ar等离子体的高能轰击导致Cu表面粒子横向粗化。
然而,临沂里Cu-Cu和SiO2-SiO2低温键合所需的理想表面状态难以兼容(如无氧化的Cu表面和亲水的SiO2表面),临沂里因此难以通过单一的活化方法直接实现低温混合键合。教学方面获黑龙江省高校课程思政教学竞赛一等奖,小院相亲哈工大青年教师研究生课程教学竞赛一等奖,小院相亲哈工大教学优秀奖一等奖,作为负责人主持承担黑龙江省教研项目2项。如图2所示为Cu、直播SiO2表面以及Cu/SiO2混合表面活化前后表面微观形貌。
高密度的芯片三维集成依赖于细节距的垂直互连结构,临沂里基于Cu/SiO2混合键合技术能够实现多层芯片的超高密度键合,临沂里是目前基于冯·诺依曼架构下缩短片间互连,提升算力与带宽,降低延迟与功耗的关键技术。担任IEEE国际集成电路技术与应用学术会议(ICTA)封装分委会主席,小院相亲电子封装技术国际会议(ICEPT)学术委员会委员,小院相亲中国机械工程学会焊接分会和极端制造分会委员。
但对于Cu/SiO2混合键合过程,直播除了要考虑Cu表面的充分还原还需要同时保证SiO2表面能的提升,直播常用的预处理手段因往往只顾及一种表面状态导致活化效果不够理想。
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